设备型号： Dimension Edge

设备参数

1.   扫描样品尺寸 150mm × 150mm × 15mm （XYZ）；

2.   Z方向扫描范围：10μm（典型值）， 9.5μm（最小值）；

3. 纵向噪音水平： <50pm RMS值（在合适的环境，典型的成像带宽条件下(最高可达625Hz)）；

4. XY方向闭环噪音水平： <0.5nm RMS值（在典型的成像带宽条件下(最高可达625Hz)）； 

5. Z方向闭环噪音水平： <0.2nm RMS值（在典型的成像带宽条件下(最高可达625Hz)）；

6. 样品尺寸和固定方式： 150mm直径，真空吸附；

7. 具有5百万像素数字摄像头，180µm~1465µm可视区域，数字化缩放，马达驱动聚焦，提供快速样品导航和高效点测量；

8. 配备SPM专用防震台；

9. 测试模式：接触模式，轻敲模式，抬起模式，暗抬起模式，横向力/摩擦力显微镜，磁力显微镜，静电力显微镜，扫描隧道显微镜，导电原子力显微镜，表面电势显微镜，纳米操纵/刻蚀，纳米压痕。

主要功能：原子力显微镜可在大气或液体环境下，对各种材料样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测，或者直接进行纳米操纵。通过双频的方法，能够为任何静电电势成像的应用提供理想解决方案。其广泛应用于半导体材料、纳米功能材料、无机非金属材料、金属材料、有机固体、聚合物以及生物大分子等材料的测试领域中。样品的载体选择包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和某些生物膜等。